Lithographie EUV: miroirs et étain
13,5 nm, gouttes d'étain vaporisées et miroirs multicouches : la gravure des puces au sommet.
Au programme
- 1L'EUV utilise une lumière de longueur d'onde d'environ...
- 2Cette lumière EUV est produite en frappant...
- 3Le laser qui vaporise l'étain est un laser...
- 4Pourquoi l'EUV se réfléchit-il sur des miroirs au lieu de traverser des lentilles ?
- 5Pour la même raison, tout le trajet de la lumière se fait...
- 6Les miroirs EUV sont faits d'un empilement de fines couches alternées de...
- 7Chaque miroir EUV ne réfléchit qu'environ...
- 8Comme chaque miroir perd environ 30 %, enchaîner une dizaine de miroirs impose...
- 9Les scanners EUV les plus avancés sont fabriqués...
- 10La génération "High-NA" porte l'ouverture numérique à 0,55 pour...
